বিশেষ গ্যাস লেজ গ্যাস চিকিত্সা গ্যাস প্রয়োগ！

লেজ গ্যাস চিকিত্সার সরঞ্জামগুলি এসআইএইচ 4, সিআইএইচ 2 সিএল 2, পিএইচ 3, বি 2 এইচ 6, টিওওএস, এইচ 2, সিও, এনএফ 3, এসএফ 6, সি 2 এফ 6, ডাব্লুএফ 6, ডাব্লুএফ 6, ডাব্লুএফ 6, ডাব্লুএফ 6, এনএইচ 3, এন 2 তে সেমিকন্ডাক্টর, তরল স্ফটিক এবং সৌর শক্তি শিল্পগুলিতে এচিং প্রক্রিয়া এবং রাসায়নিক বাষ্প ডিপোজিশন প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত গ্যাসগুলি পরিচালনা করতে পারে।

নিষ্কাশন গ্যাস চিকিত্সা পদ্ধতি

নিষ্কাশন গ্যাস চিকিত্সার বৈশিষ্ট্য অনুসারে, চিকিত্সা চার ধরণের চিকিত্সায় বিভক্ত করা যেতে পারে:

1। জল ধোয়ার ধরণ (ক্ষয়কারী গ্যাসগুলির চিকিত্সা)

2। অক্সিডাইজিং টাইপ (দহনযোগ্য এবং বিষাক্ত গ্যাসের সাথে ডিল করা)

3। শোষণ (সংশ্লিষ্ট নিষ্কাশন গ্যাসের সাথে মোকাবিলা করার জন্য শোষণ সামগ্রীর ধরণ অনুসারে)।

4. প্লাজমা দহন প্রকার (সমস্ত ধরণের এক্সস্টাস্ট গ্যাসগুলি চিকিত্সা করা যেতে পারে)।

প্রতিটি ধরণের চিকিত্সার নিজস্ব সুবিধা এবং অসুবিধাগুলির পাশাপাশি প্রয়োগের সুযোগ রয়েছে। যখন চিকিত্সার পদ্ধতিটি জল ধোয়া হয়, তখন সরঞ্জামগুলি সস্তা এবং সহজ এবং কেবল জল দ্রবণীয় গ্যাসগুলি পরিচালনা করতে পারে; বৈদ্যুতিক জল ধোয়ার ধরণের প্রয়োগের পরিসীমা জল ধোয়ার ধরণের চেয়ে বেশি, তবে অপারেশন ব্যয় বেশি; শুকনো প্রকারের চিকিত্সার ভাল দক্ষতা রয়েছে এবং এটি গ্যাস প্রবাহের জন্য প্রযোজ্য নয় যা জঞ্জাল বা প্রবাহিত হওয়া সহজ।

রাসায়নিক এবং তাদের উপ-পণ্যগুলি সাধারণত অর্ধপরিবাহী শিল্পে ব্যবহৃত হয় তাদের রাসায়নিক বৈশিষ্ট্য এবং তাদের বিভিন্ন ব্যাপ্তি অনুসারে শ্রেণিবদ্ধ করা যেতে পারে:

1। সিহ 4 এইচ 2, ইটিসি এর মতো জ্বলনযোগ্য গ্যাসগুলি

2। অ্যাশ 3, পিএইচ 3 ইত্যাদি বিষাক্ত গ্যাসগুলি

3। এইচএফ, এইচসিএল, ইসি এর মতো ক্ষয়কারী গ্যাসগুলি

4। গ্রিনহাউস গ্যাস যেমন সিএফ 4, এনএফ 3, ইটিসি।

যেহেতু উপরোক্ত চারটি গ্যাস পরিবেশ বা মানবদেহের জন্য ক্ষতিকারক, তাই অবশ্যই বায়ুমণ্ডলে এর সরাসরি নির্গমন রোধ করতে হবে, সুতরাং সাধারণ অর্ধপরিবাহী উদ্ভিদ একটি বৃহত কেন্দ্রীভূত নিষ্কাশন গ্যাস চিকিত্সা সিস্টেমের সাথে ইনস্টল করা হয়েছে, তবে এই সিস্টেমটি কেবল জল স্ক্রাবিং এক্সস্টাস্ট, সুতরাং এর প্রয়োগ দীর্ঘ-দূরত্বের জল-দ্রবণীয় গ্যাসগুলির মধ্যে সীমাবদ্ধ, এবং সেমিকট বিভাগের প্রসেসার এবং সাবটাল্ট বিভাগের সাথে মোকাবিলা করতে পারে না। অতএব, একটি সামান্য উপায়ে এক্সস্টাস্ট গ্যাস সমস্যা সমাধানের জন্য প্রতিটি প্রক্রিয়া থেকে প্রাপ্ত গ্যাস বৈশিষ্ট্য অনুসারে সংশ্লিষ্ট এক্সস্টাস্ট গ্যাস চিকিত্সার সরঞ্জামগুলি নির্বাচন এবং মেলে প্রয়োজন। যেহেতু কার্যনির্বাহী অঞ্চলটি বেশিরভাগ কেন্দ্রীয় নিষ্কাশন গ্যাস চিকিত্সা ব্যবস্থা থেকে দূরে থাকে, প্রায়শই গ্যাসের বৈশিষ্ট্যগুলির কারণে পাইপলাইনে স্ফটিককরণ বা ধূলিকণা জমে থাকে, ফলে পাইপলাইন আটকে থাকে গ্যাস ফুটো হওয়ার দিকে পরিচালিত করে এবং গুরুতর ক্ষেত্রে এমনকি একটি বিস্ফোরণ ঘটায়, সাইটের কর্মীদের সুরক্ষার সুরক্ষা নিশ্চিত করতে পারে না। সুতরাং, কর্মক্ষেত্রে কর্মীদের সুরক্ষা নিশ্চিত করার জন্য কর্মক্ষেত্রে স্থির নিষ্কাশন গ্যাস হ্রাস করার জন্য প্রক্রিয়া গ্যাসের বৈশিষ্ট্যগুলির জন্য উপযুক্ত একটি ছোট এক্সস্টাস্ট গ্যাস চিকিত্সা সরঞ্জামগুলি কনফিগার করতে হবে।