অর্ধপরিবাহী শিল্পে গ্যাসের ব্যবহার 1950 এর প্রথম থেকে 1960 এর দশকের প্রথম দিকে। অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়া চলাকালীন, গ্যাসগুলি মূলত তাদের বিশুদ্ধতা এবং গুণমান নিশ্চিত করতে অর্ধপরিবাহী উপকরণ পরিষ্কার এবং সুরক্ষার জন্য ব্যবহৃত হয়। সর্বাধিক ব্যবহৃত গ্যাসগুলির মধ্যে হ'ল নাইট্রোজেন এবং হাইড্রোজেন।
যেহেতু অর্ধপরিবাহী প্রযুক্তি বিকশিত হয় এবং উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলি উন্নত হতে থাকে, গ্যাসের চাহিদা বৃদ্ধি পায়। ১৯ 1970০ সালে, সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং টেকনোলজির আরও বিকাশ, মূল প্রক্রিয়াগুলিতে গ্যাসের প্রয়োগ যেমন এচিং এবং পাতলা ছায়াছবিগুলির জমা দেওয়ার মতো ধীরে ধীরে বৃদ্ধি পেয়েছিল এবং ফ্লোরাইড গ্যাসগুলি (যেমন এসএফ 6) এবং অক্সিজেন সাধারণত ব্যবহৃত ইচিং এবং ডিপোজিশন গ্যাসগুলিতে পরিণত হয়েছিল। 1980 সালে ইন্টিগ্রেটেড সার্কিটগুলির বিকাশ এবং তাদের চাহিদা বৃদ্ধির সাথে গ্যাসের চাহিদা আরও বৃদ্ধি দেখা গেছে। হাইড্রোজেন অ্যানিলিং এবং হাইড্রোজেন বাষ্প জমার সহ উত্পাদন প্রক্রিয়াতে হাইড্রোজেন ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হত। এবং ১৯৯০ থেকে বর্তমান অবধি, সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসের আকারগুলি সঙ্কুচিত হওয়া অব্যাহত রয়েছে এবং নতুন প্রক্রিয়া চালু করা হয়েছে বলে উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস এবং নির্দিষ্ট গ্যাসের চাহিদা বৃদ্ধি পেয়েছে। উদাহরণস্বরূপ, চরম আল্ট্রাভায়োলেট লিথোগ্রাফি (EUV) এর প্রয়োগের জন্য নাইট্রোজেন এবং হাইড্রোজেনের মতো অত্যন্ত উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাসের ব্যবহার প্রয়োজন।
সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস আরও বেশি বেশি পণ্য দ্বারা চালিত সম্পর্কিত পণ্যগুলির বিকাশের সাথে বৃদ্ধি অব্যাহত রাখে, যখন গ্যাসটিও বিপদের উত্সের অন্তর্গত, সুতরাং গ্যাসের ডিকম্প্রেশন, গ্যাস সনাক্তকরণ পণ্য এবং গ্যাস ফুটো পণ্য প্রতিরোধের জন্য ব্যবহৃত পণ্যগুলি যেমন চাপ নিয়ন্ত্রক, গ্যাস ভালভ, গ্যাস ফাঁস সনাক্তকারী ইত্যাদি হিসাবে উদ্ভূত হয়েছে, এবং তাদের রোলসগুলি: তাদের রোলসগুলি হয়:
চাপ নিয়ন্ত্রক: চাপ নিয়ন্ত্রকরা গ্যাসের চাপ নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যবহৃত ডিভাইস। এগুলিতে সাধারণত একটি নিয়ামক ভালভ এবং একটি চাপ সেন্সর থাকে। চাপ নিয়ন্ত্রকরা একটি উচ্চ চাপ গ্যাস ইনপুট নেয় এবং নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশন প্রয়োজনীয়তাগুলি পূরণ করতে ভালভ সামঞ্জস্য করে আউটপুট গ্যাসের চাপকে স্থিতিশীল করে। চাপ নিয়ন্ত্রকরা শিল্প, উত্পাদন এবং পরীক্ষাগারগুলির পাশাপাশি গ্যাস সরবরাহের স্থিতিশীলতা এবং সুরক্ষা নিশ্চিত করার জন্য অন্যদের মধ্যে অর্ধপরিবাহী শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
গ্যাস ভালভ: গ্যাসের ভালভগুলি গ্যাসের প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ করতে এবং গ্যাসের প্যাসেজগুলি বন্ধ করতে ব্যবহৃত হয়। তাদের সাধারণত একটি অন/অফ ফাংশন থাকে যা গ্যাস প্রবাহ খোলে বা বন্ধ করে দেয়। ম্যানুয়াল ভালভ, বৈদ্যুতিক ভালভ এবং বায়ুসংক্রান্ত ভালভ সহ বিভিন্ন ধরণের গ্যাস ভালভ রয়েছে। এগুলি গ্যাসের প্রবাহ, চাপ এবং প্রবাহের হার নিয়ন্ত্রণ করতে গ্যাস সিস্টেমে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।
গ্যাস চাপ গেজস: গ্যাসের চাপ গেজগুলি গ্যাসের চাপের স্তরটি পরিমাপ করতে ব্যবহৃত হয়। চাপ পরিবর্তনগুলি নিরীক্ষণ করতে এবং তারা নিরাপদ সীমাতে রয়েছে তা নিশ্চিত করতে এগুলি সাধারণত গ্যাস সিস্টেমে সমালোচনামূলক স্থানে ইনস্টল করা হয়। গ্যাস চাপ গেজগুলি শিল্প, উত্পাদন এবং পরীক্ষাগারগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয় এবং অর্ধপরিবাহী শিল্পও জড়িত ছিল।
গ্যাস ফাঁস ডিটেক্টর: গ্যাস সিস্টেমে ফাঁস সনাক্ত করতে গ্যাস ফাঁস ডিটেক্টর ব্যবহার করা হয়। তারা সনাক্তগ্যাসের ফাঁস উপস্থিতি এবং একটি অ্যালার্ম শোনায় যাতে ফুটো দুর্ঘটনা রোধে সময়োপযোগী ব্যবস্থা নেওয়া যেতে পারে। গ্যাস ফাঁস ডিটেক্টরগুলি শিল্প, রাসায়নিক, তেল এবং গ্যাস অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয় এবং অর্ধপরিবাহী শিল্পও জড়িত ছিল।
পোস্ট সময়: ফেব্রুয়ারী -20-2024