সেমিকন্ডাক্টর বানোয়াটে, গ্যাসগুলি সমস্ত কাজ করে এবং লেজারগুলি সমস্ত মনোযোগ পায়। যখন লেজারগুলি সিলিকনে এচ ট্রানজিস্টর নিদর্শনগুলি করে, তখন প্রথমে সিলিকন জমা করে এবং সম্পূর্ণ সার্কিট তৈরির জন্য লেজারটি ভেঙে দেয় এমন ইচটি হ'ল গ্যাসগুলির একটি সিরিজ। অবাক হওয়ার মতো বিষয় নয় যে এই গ্যাসগুলি, যা একটি বহু-পর্যায়ের প্রক্রিয়াটির মাধ্যমে মাইক্রোপ্রসেসরগুলি বিকাশ করতে ব্যবহৃত হয়, উচ্চ বিশুদ্ধতা রয়েছে। এই সীমাবদ্ধতা ছাড়াও, তাদের অনেকের অন্যান্য উদ্বেগ এবং সীমাবদ্ধতা রয়েছে। কিছু গ্যাস ক্রায়োজেনিক, অন্যরা ক্ষয়কারী এবং এখনও অন্যরা অত্যন্ত বিষাক্ত।
সর্বোপরি, এই সীমাবদ্ধতাগুলি অর্ধপরিবাহী শিল্পের জন্য উত্পাদন গ্যাস বিতরণ সিস্টেমকে যথেষ্ট চ্যালেঞ্জ করে তোলে। উপাদান স্পেসিফিকেশন দাবি করা হয়। উপাদানগুলির স্পেসিফিকেশন ছাড়াও, একটি গ্যাস বিতরণ অ্যারে আন্তঃসংযুক্ত সিস্টেমগুলির একটি জটিল বৈদ্যুতিনচেনীয় অ্যারে। তারা যে পরিবেশে একত্রিত হয় সেগুলি জটিল এবং ওভারল্যাপিং। চূড়ান্ত বানোয়াট ইনস্টলেশন প্রক্রিয়া অংশ হিসাবে সাইটে স্থান নেয়। অরবিটাল সোল্ডারিং টাইট, চ্যালেঞ্জিং পরিবেশে উত্পাদনকে আরও পরিচালনাযোগ্য করার সময় গ্যাস বিতরণ প্রয়োজনীয়তার উচ্চ স্পেসিফিকেশনগুলি পূরণ করতে সহায়তা করে।
কীভাবে অর্ধপরিবাহী শিল্প গ্যাস ব্যবহার করে
গ্যাস বিতরণ সিস্টেম তৈরির পরিকল্পনা করার চেষ্টা করার আগে, কমপক্ষে সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ের বেসিকগুলি বোঝা প্রয়োজন। এর মূল অংশে, সেমিকন্ডাক্টররা একটি অত্যন্ত নিয়ন্ত্রিত পদ্ধতিতে কোনও পৃষ্ঠের নিকটবর্তী-এলিমেন্টাল সলিড জমা দেওয়ার জন্য গ্যাস ব্যবহার করে। এই জমা হওয়া সলিডগুলি তখন অতিরিক্ত গ্যাস, লেজার, রাসায়নিক এচ্যান্টস এবং তাপ প্রবর্তন করে সংশোধন করা হয়। বিস্তৃত প্রক্রিয়াটির পদক্ষেপগুলি হ'ল:
জবানবন্দি: এটি প্রাথমিক সিলিকন ওয়েফার তৈরির প্রক্রিয়া। সিলিকন পূর্ববর্তী গ্যাসগুলি একটি ভ্যাকুয়াম ডিপোজিশন চেম্বারে পাম্প করা হয় এবং রাসায়নিক বা শারীরিক মিথস্ক্রিয়তার মাধ্যমে পাতলা সিলিকন ওয়েফার তৈরি করে।
ফটোলিথোগ্রাফি: ফটো বিভাগটি লেজারগুলিকে বোঝায়। উচ্চতর চরম আল্ট্রাভায়োলেট লিথোগ্রাফি (ইইউভি) স্পেকট্রামে সর্বাধিক স্পেসিফিকেশন চিপস তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়, একটি কার্বন ডাই অক্সাইড লেজার ওয়েফারে মাইক্রোপ্রসেসর সার্কিটরিটি এচ করতে ব্যবহৃত হয়।
এচিং: এচিং প্রক্রিয়া চলাকালীন, সিলিকন সাবস্ট্রেটে নির্বাচিত উপকরণগুলি সক্রিয় ও দ্রবীভূত করতে হ্যালোজেন-কার্বন গ্যাস চেম্বারে পাম্প করা হয়। এই প্রক্রিয়াটি কার্যকরভাবে লেজার-মুদ্রিত সার্কিটরিটি সাবস্ট্রেটে খোদাই করে।
ডোপিং: এটি একটি অতিরিক্ত পদক্ষেপ যা সেমিকন্ডাক্টর পরিচালনা করে এমন সঠিক শর্তগুলি নির্ধারণের জন্য এচড পৃষ্ঠের পরিবাহিতা পরিবর্তন করে।
অ্যানিলিং: এই প্রক্রিয়াতে, ওয়েফার স্তরগুলির মধ্যে প্রতিক্রিয়াগুলি উন্নত চাপ এবং তাপমাত্রা দ্বারা ট্রিগার করা হয়। মূলত, এটি পূর্ববর্তী প্রক্রিয়াটির ফলাফলগুলি চূড়ান্ত করে এবং ওয়েফারে চূড়ান্ত প্রসেসর তৈরি করে।
চেম্বার এবং লাইন পরিষ্কার: পূর্ববর্তী পদক্ষেপগুলিতে ব্যবহৃত গ্যাসগুলি, বিশেষত এচিং এবং ডোপিং, প্রায়শই অত্যন্ত বিষাক্ত এবং প্রতিক্রিয়াশীল হয়। অতএব, প্রক্রিয়া চেম্বার এবং এটি খাওয়ানো গ্যাসের লাইনগুলি ক্ষতিকারক প্রতিক্রিয়াগুলি হ্রাস করতে বা নির্মূল করতে গ্যাসগুলি নিরপেক্ষ করে ভরাট করা দরকার এবং তারপরে বাইরের পরিবেশ থেকে কোনও দূষিত গ্যাসের অনুপ্রবেশ রোধ করতে জড় গ্যাস দিয়ে ভরাট করা উচিত।
সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে গ্যাস বিতরণ সিস্টেমগুলি প্রায়শই জটিল হয় কারণ জড়িত বিভিন্ন গ্যাস এবং গ্যাস প্রবাহ, তাপমাত্রা এবং চাপের কঠোর নিয়ন্ত্রণ যা সময়ের সাথে সাথে বজায় রাখতে হবে। প্রক্রিয়াটিতে প্রতিটি গ্যাসের জন্য প্রয়োজনীয় অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা দ্বারা এটি আরও জটিল। পূর্ববর্তী পদক্ষেপে ব্যবহৃত গ্যাসগুলি অবশ্যই লাইন এবং চেম্বারগুলি থেকে বেরিয়ে আসা বা অন্যথায় নিরপেক্ষ করা উচিত প্রক্রিয়াটির পরবর্তী পদক্ষেপটি শুরু হওয়ার আগে। এর অর্থ হ'ল এখানে প্রচুর পরিমাণে বিশেষায়িত লাইন, ঝালাই টিউব সিস্টেম এবং পায়ের পাতার মোজাবিশেষের মধ্যে ইন্টারফেস, পায়ের পাতার মোজাবিশেষ এবং টিউব এবং গ্যাস নিয়ন্ত্রক এবং সেন্সরগুলির মধ্যে ইন্টারফেস এবং পূর্বে উল্লিখিত সমস্ত উপাদান এবং ভালভ এবং সীলমোহর সিস্টেমগুলির মধ্যে ইন্টারফেসগুলি রয়েছে যা প্রাকৃতিক গ্যাস সরবরাহ থেকে পাইপলাইন দূষণ প্রতিরোধের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।
এছাড়াও, ক্লিনরুমের বহিরাগত এবং বিশেষ গ্যাসগুলি ক্লিনরুমের পরিবেশে বাল্ক গ্যাস সরবরাহ ব্যবস্থা এবং বিশেষায়িত সীমাবদ্ধ অঞ্চলগুলিতে সজ্জিত হবে দুর্ঘটনাজনিত ফুটো হওয়ার ক্ষেত্রে যে কোনও ঝুঁকি হ্রাস করতে। এই জাতীয় জটিল পরিবেশে এই গ্যাস সিস্টেমগুলিকে ld ালাই করা সহজ কাজ নয়। তবে যত্ন সহ, বিশদে মনোযোগ এবং সঠিক সরঞ্জামের সাথে এই কাজটি সফলভাবে সম্পন্ন করা যেতে পারে।
অর্ধপরিবাহী শিল্পে গ্যাস বিতরণ সিস্টেম উত্পাদন
অর্ধপরিবাহী গ্যাস বিতরণ সিস্টেমে ব্যবহৃত উপকরণগুলি অত্যন্ত পরিবর্তনশীল। এগুলি পিটিএফই-রেখাযুক্ত ধাতব পাইপ এবং পায়ের পাতার মোজাবিশেষের মতো জিনিসগুলিকে অত্যন্ত ক্ষয়কারী গ্যাসগুলি প্রতিরোধ করতে অন্তর্ভুক্ত করতে পারে। সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে সাধারণ উদ্দেশ্যে পাইপিংয়ের জন্য ব্যবহৃত সর্বাধিক সাধারণ উপাদান হ'ল 316L স্টেইনলেস স্টিল - একটি কম কার্বন স্টেইনলেস স্টিলের বৈকল্পিক। 316 এল বনাম 316 এল এ যখন আসে, 316L আন্তঃগ্রানক জারা থেকে আরও প্রতিরোধী হয়। কার্বনকে ক্ষয় করতে পারে এমন একাধিক অত্যন্ত প্রতিক্রিয়াশীল এবং সম্ভাব্য অস্থির গ্যাসের সাথে কাজ করার সময় এটি একটি গুরুত্বপূর্ণ বিবেচনা। ওয়েল্ডিং 316L স্টেইনলেস স্টিল কম কার্বন প্রিপিটেটগুলি প্রকাশ করে। এটি শস্যের সীমানা ক্ষয়ের সম্ভাবনাও হ্রাস করে, যা ওয়েল্ডস এবং তাপ আক্রান্ত অঞ্চলগুলিতে জারা পিট করতে পারে।
পণ্য লাইন জারা এবং দূষণের দিকে পরিচালিত করে পাইপিং জারা হওয়ার সম্ভাবনা হ্রাস করার জন্য, 316L স্টেইনলেস স্টিল খাঁটি আর্গন শিল্ডিং গ্যাস এবং টুংস্টেন গ্যাসের ঝালাই ওয়েল্ড রেলগুলির সাথে ঝালাই করা সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের মান। একমাত্র ld ালাই প্রক্রিয়া যা প্রক্রিয়া পাইপিংয়ে উচ্চ বিশুদ্ধতা পরিবেশ বজায় রাখতে প্রয়োজনীয় নিয়ন্ত্রণ সরবরাহ করে। স্বয়ংক্রিয় অরবিটাল ওয়েল্ডিং কেবল অর্ধপরিবাহী গ্যাস বিতরণে উপলব্ধ
পোস্ট সময়: জুলাই -18-2023