অর্ধপরিবাহী বাজার বাড়ার সাথে সাথে বিশুদ্ধতা এবং নির্ভুলতার জন্য মানগুলি আরও কঠোর হয়ে ওঠে। অর্ধপরিবাহী উত্পাদন মানের একটি নির্ধারক কারণ হ'ল প্রক্রিয়াটিতে ব্যবহৃত গ্যাস। এই গ্যাসগুলি উত্পাদন প্রক্রিয়াতে অনেক ভূমিকা পালন করে, সহ:
যথার্থ প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ
দূষণ প্রতিরোধ
ধাতব সম্পত্তি বর্ধন
কার্যকরভাবে এই ভূমিকাগুলি সম্পাদন করতে, গ্যাস সরবরাহ এবং বিতরণ ব্যবস্থা অবশ্যই দক্ষ হতে হবে। সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে ব্যবহৃত গ্যাস হ্যান্ডলিং সিস্টেমগুলির নকশাকে অবশ্যই শক্তিশালী উপাদান এবং কাস্টমাইজড অ্যাসেমব্লি দ্বারা সমর্থিত হতে হবে সেমিকন্ডাক্টরগুলির নির্ভরযোগ্য এবং উচ্চ মানের উত্পাদন নিশ্চিত করতে।
সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিংয়ে ব্যবহৃত গ্যাস
অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রক্রিয়া প্রক্রিয়াটির বিভিন্ন পর্যায়ে বিভিন্ন গ্যাস ব্যবহার প্রয়োজন।
যদিও নাইট্রোজেন, হাইড্রোজেন, আর্গন এবং হিলিয়ামের মতো সাধারণ গ্যাসগুলি তাদের খাঁটি আকারে ব্যবহার করা যেতে পারে, নির্দিষ্ট প্রক্রিয়াগুলির জন্য বিশেষ মিশ্রণের প্রয়োজন হতে পারে। সিলেনস বা সিলোক্সেনস, হেক্সাফ্লোরাইডস, হ্যালিড এবং হাইড্রোকার্বনগুলি অর্ধপরিবাহী উত্পাদনতে ব্যবহৃত কয়েকটি বিশেষ গ্যাস। এই গ্যাসগুলির অনেকগুলি বিপজ্জনক বা অত্যন্ত প্রতিক্রিয়াশীল হতে পারে, যা গ্যাস সিস্টেমের জন্য উপাদানগুলির নির্বাচন এবং নকশায় চ্যালেঞ্জ তৈরি করে।
এখানে কয়েকটি উদাহরণ রয়েছে:
\ হাইড্রোজেন এবং হিলিয়াম তাদের ছোট পারমাণবিক আকার এবং ওজনের কারণে পাইপিং এবং ফিটিং সিস্টেমগুলি থেকে সহজেই ফুটো করতে পারে।
\ সিলেনগুলি অত্যন্ত জ্বলনযোগ্য এবং স্বতঃস্ফূর্তভাবে বাতাসে (অটোইগনাইট) জ্বলতে পারে।
\ পরিবেশে ফাঁস হওয়ার সময় ডিপোজিটি, এচিং এবং চেম্বার পরিষ্কারের পর্যায়ে ব্যবহৃত নাইট্রোজেন ডিফ্লুওরাইড একটি শক্তিশালী গ্রিনহাউস গ্যাস হয়ে যায়।
\ হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড (এচিং গ্যাস) ধাতব পাইপিংয়ের জন্য অত্যন্ত ক্ষয়কারী।
\ ট্রাইমেথাইলগলিয়াম এবং অ্যামোনিয়া পরিচালনা করা কঠিন হতে পারে - তাদের তাপমাত্রায় ছোট ওঠানামা এবং চাপের প্রয়োজনীয়তাগুলি জমা দেওয়ার প্রক্রিয়াটিকে প্রভাবিত করতে পারে।
এই গ্যাসগুলির নেতিবাচক প্রভাবগুলি হ্রাস করার জন্য প্রক্রিয়া শর্তগুলি নিয়ন্ত্রণ করা সিস্টেম ডিজাইনের সময় অবশ্যই সর্বোচ্চ অগ্রাধিকার হতে হবে। বিল্ড প্রক্রিয়া চলাকালীন এএফকে ডায়াফ্রাম ভালভের মতো সর্বোচ্চ মানের উপাদানগুলি ব্যবহার করা সমান গুরুত্বপূর্ণ।
সিস্টেম ডিজাইনের চ্যালেঞ্জগুলি সম্বোধন করা
সেমিকন্ডাক্টর গ্রেড গ্যাসগুলি বেশিরভাগ ক্ষেত্রে উচ্চ বিশুদ্ধতার ক্ষেত্রে থাকে এবং জড় শর্ত সরবরাহ করে বা উত্পাদন প্রক্রিয়ার বিভিন্ন পর্যায়ে যেমন ইচ এবং জবানবন্দি গ্যাসের প্রতিক্রিয়া বাড়ায়। এই জাতীয় গ্যাসের ফুটো বা দূষণের নেতিবাচক প্রভাব থাকতে পারে। অতএব, সিস্টেমের উপাদানগুলির জন্য এটি হারমেটিক্যালি সিল করা এবং জারা প্রতিরোধী হিসাবে ব্যবহৃত হত এবং পাশাপাশি দূষণের কোনও সম্ভাবনা নেই তা নিশ্চিত করার জন্য একটি মসৃণ পৃষ্ঠ ফিনিস (ইলেক্ট্রোলাইটিক পলিশিং) রয়েছে এবং একটি অত্যন্ত উচ্চ স্তরের পরিষ্কার পরিচ্ছন্নতা বজায় রাখা যায় তা নিশ্চিত করার জন্য এটি গুরুত্বপূর্ণ।
তদতিরিক্ত, এই গ্যাসগুলির কয়েকটি কাঙ্ক্ষিত প্রক্রিয়া শর্তগুলি অর্জনের জন্য উত্তপ্ত বা শীতল করা যেতে পারে। ভাল অন্তর্নিহিত উপাদানগুলি তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ নিশ্চিত করে, যা চূড়ান্ত পণ্যের দক্ষ কার্য সম্পাদনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ।
উত্স ইনলেট থেকে ব্যবহারের বিন্দু পর্যন্ত, এএফকে-র বিস্তৃত উপাদানগুলি সেমিকন্ডাক্টর ক্লিনরুম এবং ভ্যাকুয়াম চেম্বারে প্রয়োজনীয় অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা, তাপমাত্রা, চাপ এবং প্রবাহ নিয়ন্ত্রণকে সমর্থন করে।
সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলিতে মানের উপাদান সহ ডিজাইন করা সিস্টেমগুলি
গুণমানের উপাদান এবং নকশা অপ্টিমাইজেশনের ভূমিকা সেমিকন্ডাক্টরগুলির সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ এবং নিরাপদ উত্পাদনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ। উত্পাদনের বিভিন্ন পর্যায়ে প্রয়োজনীয় বিভিন্ন প্রক্রিয়া শর্তগুলির সাথে মেলে এমন উপাদানগুলির জন্য ব্যবহৃত উপাদানগুলি দৃ ust ় এবং ফাঁস মুক্ত হওয়া দরকার af
অতি-উচ্চ বিশুদ্ধতা
ফাঁস মুক্ত সিল
তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রিত নিরোধক
চাপ নিয়ন্ত্রণ
জারা প্রতিরোধের
ইলেক্ট্রোলাইটিক পলিশিং চিকিত্সা
পোস্ট সময়: অক্টোবর -09-2023