উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস পাইপিং প্রযুক্তি উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস সরবরাহ ব্যবস্থার একটি গুরুত্বপূর্ণ অংশ, যা প্রয়োজনীয় উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাসকে ব্যবহারের বিন্দুতে সরবরাহ করার এবং এখনও যোগ্য গুণমান বজায় রাখার মূল প্রযুক্তি;উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্যাস পাইপিং প্রযুক্তির মধ্যে রয়েছে সিস্টেমের সঠিক নকশা, জিনিসপত্র এবং আনুষাঙ্গিক নির্বাচন, নির্মাণ এবং ইনস্টলেশন, এবং পরীক্ষা।সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, বড় আকারের সমন্বিত সার্কিট দ্বারা প্রতিনিধিত্ব করা মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স পণ্যগুলির উত্পাদনে উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাসগুলির বিশুদ্ধতা এবং অশুচিতা বিষয়বস্তুর উপর ক্রমবর্ধমান কঠোর প্রয়োজনীয়তা উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাসগুলির পাইপিং প্রযুক্তিকে ক্রমবর্ধমানভাবে উদ্বিগ্ন এবং জোর দিয়েছে৷নিম্নে উপাদান নির্বাচন থেকে উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস পাইপিংয়ের একটি সংক্ষিপ্ত বিবরণ দেওয়া হলof নির্মাণ, সেইসাথে গ্রহণযোগ্যতা এবং দৈনিক ব্যবস্থাপনা।
সাধারণ গ্যাসের প্রকারভেদ
ইলেকট্রনিক্স শিল্পে সাধারণ গ্যাসের শ্রেণীবিভাগ:
সাধারণ গ্যাস(বাল্ক গ্যাস): হাইড্রোজেন (এইচ2), নাইট্রোজেন (N2), অক্সিজেন (ও2), আর্গন (এ2), ইত্যাদি
বিশেষায়িত গ্যাসSiH হয়4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,এইচসিএল,CF4 ,NH3,পিওসিএল3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, ছাত্রলীগ3 ,এসআইএফ4 ,সিএলএফ3 ,CO,C2F6, N2O,F2,এইচএফ,এইচবিআর এসএফ6…… ইত্যাদি
বিশেষ গ্যাসের প্রকারগুলিকে সাধারণত ক্ষয়কারী হিসাবে শ্রেণীবদ্ধ করা যেতে পারেগ্যাস, বিষাক্তগ্যাস, দাহ্যগ্যাস, দাহ্যগ্যাস, জড়গ্যাস, ইত্যাদি। সাধারণত ব্যবহৃত সেমিকন্ডাক্টর গ্যাসগুলিকে সাধারণত নিম্নরূপ শ্রেণীবদ্ধ করা হয়।
(i) ক্ষয়কারী/বিষাক্তগ্যাস: এইচসিএল, বিএফ3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, পিএইচ3, Cl2, বিসিএল3…ইত্যাদি
(ii) জ্বলনযোগ্যতাগ্যাস: এইচ2, সিএইচ4, SiH4, পিএইচ3, AsH3, SiH2Cl2, বি2H6, CH2F2,সিএইচ3F, CO... ইত্যাদি
(iii) দাহ্যতাগ্যাস: ও2, Cl2, এন2ও, এনএফ3… ইত্যাদি
(iv) জড়গ্যাস: এন2, সিএফ4, গ2F6, গ4F8,এসএফ6, CO2, Ne, Kr, He... etc.
অনেক অর্ধপরিবাহী গ্যাস মানবদেহের জন্য ক্ষতিকর।বিশেষ করে, এই গ্যাসগুলির মধ্যে কিছু, যেমন SiH4 স্বতঃস্ফূর্ত দহন, যতক্ষণ না একটি ফুটো বাতাসের অক্সিজেনের সাথে হিংস্রভাবে প্রতিক্রিয়া করবে এবং জ্বলতে শুরু করবে;এবং এএসএইচ3অত্যন্ত বিষাক্ত, কোনো সামান্য ফুটো মানুষের জীবনের ঝুঁকির কারণ হতে পারে, এটি এই সুস্পষ্ট বিপদের কারণে, তাই সিস্টেম ডিজাইনের নিরাপত্তার জন্য প্রয়োজনীয়তা বিশেষভাবে বেশি।
গ্যাসের প্রয়োগের সুযোগ
আধুনিক শিল্পের একটি গুরুত্বপূর্ণ মৌলিক কাঁচামাল হিসাবে, গ্যাস পণ্যগুলি ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয় এবং ধাতুবিদ্যা, ইস্পাত, পেট্রোলিয়াম, রাসায়নিক শিল্প, যন্ত্রপাতি, ইলেকট্রনিক্স, গ্লাস, সিরামিক, নির্মাণ সামগ্রী, নির্মাণে প্রচুর পরিমাণে সাধারণ গ্যাস বা বিশেষ গ্যাস ব্যবহার করা হয়। , খাদ্য প্রক্রিয়াকরণ, ঔষধ এবং চিকিৎসা খাত।গ্যাসের প্রয়োগ বিশেষ করে এই ক্ষেত্রগুলির উচ্চ প্রযুক্তির উপর একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রভাব ফেলে এবং এটি এর অপরিহার্য কাঁচামাল গ্যাস বা প্রক্রিয়াজাত গ্যাস।কেবলমাত্র বিভিন্ন নতুন শিল্প খাত এবং আধুনিক বিজ্ঞান ও প্রযুক্তির চাহিদা ও প্রচারের মাধ্যমে গ্যাস শিল্পের পণ্যগুলি বৈচিত্র্য, গুণমান এবং পরিমাণের দিক থেকে লাফিয়ে লাফিয়ে বিকশিত হতে পারে।
মাইক্রোইলেক্ট্রনিক্স এবং সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে গ্যাস প্রয়োগ
গ্যাসের ব্যবহার সবসময়ই সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়ায় গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করেছে, বিশেষ করে সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াটি বিভিন্ন শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়েছে, ঐতিহ্যগত ULSI, TFT-LCD থেকে বর্তমান মাইক্রো-ইলেক্ট্রো-মেকানিক্যাল (MEMS) শিল্পে, সমস্ত যা তথাকথিত সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়াকে পণ্যের উৎপাদন প্রক্রিয়া হিসেবে ব্যবহার করে।গ্যাসের বিশুদ্ধতা উপাদানগুলির কার্যকারিতা এবং পণ্যের ফলনের উপর একটি নিষ্পত্তিমূলক প্রভাব ফেলে এবং গ্যাস সরবরাহের নিরাপত্তা কর্মীদের স্বাস্থ্য এবং প্ল্যান্ট অপারেশনের নিরাপত্তার সাথে সম্পর্কিত।
উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস পরিবহনে উচ্চ-বিশুদ্ধতার পাইপিংয়ের তাৎপর্য
স্টেইনলেস স্টীল গলে যাওয়া এবং উপাদান তৈরির প্রক্রিয়ায়, প্রতি টন প্রায় 200 গ্রাম গ্যাস শোষিত হতে পারে।স্টেইনলেস স্টিলের প্রক্রিয়াকরণের পরে, বিভিন্ন দূষকগুলির সাথে এর পৃষ্ঠটি কেবল আঠালোই নয়, এর ধাতব জালিতেও নির্দিষ্ট পরিমাণ গ্যাস শোষণ করে।যখন পাইপলাইনের মাধ্যমে বায়ুপ্রবাহ থাকে, তখন ধাতু গ্যাসের এই অংশটি শোষণ করে বায়ুপ্রবাহে পুনরায় প্রবেশ করবে, বিশুদ্ধ গ্যাসকে দূষিত করবে।যখন টিউবের বায়ুপ্রবাহ অবিচ্ছিন্ন প্রবাহে থাকে, তখন টিউবটি চাপের মধ্যে গ্যাসকে শোষণ করে এবং যখন বায়ুপ্রবাহ বন্ধ হয়ে যায়, তখন টিউব দ্বারা শোষিত গ্যাসটি সমাধানের জন্য একটি চাপের ড্রপ তৈরি করে এবং মীমাংসিত গ্যাসটিও টিউবের বিশুদ্ধ গ্যাসে প্রবেশ করে। অমেধ্য হিসাবে।একই সময়ে, শোষণ এবং রেজোলিউশন পুনরাবৃত্তি হয়, যাতে টিউবের অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠের ধাতুটিও একটি নির্দিষ্ট পরিমাণ পাউডার তৈরি করে এবং এই ধাতব ধূলিকণাগুলি টিউবের ভিতরের বিশুদ্ধ গ্যাসকেও দূষিত করে।পরিবহন করা গ্যাসের বিশুদ্ধতা নিশ্চিত করার জন্য টিউবের এই বৈশিষ্ট্যটি অপরিহার্য, যার জন্য টিউবের অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠের খুব উচ্চ মসৃণতাই নয়, উচ্চ পরিধান প্রতিরোধেরও প্রয়োজন।
যখন শক্তিশালী ক্ষয়কারী কর্মক্ষমতা সহ গ্যাস ব্যবহার করা হয়, তখন ক্ষয়-প্রতিরোধী স্টেইনলেস স্টীল পাইপগুলি পাইপিংয়ের জন্য ব্যবহার করা আবশ্যক।অন্যথায়, পাইপটি ক্ষয়ের কারণে ভিতরের পৃষ্ঠে ক্ষয় দাগ তৈরি করবে এবং গুরুতর ক্ষেত্রে, ধাতব স্ট্রিপিং বা এমনকি ছিদ্রের একটি বড় এলাকা থাকবে, যা বিতরণ করা বিশুদ্ধ গ্যাসকে দূষিত করবে।
উচ্চ-বিশুদ্ধতা এবং উচ্চ-পরিচ্ছন্নতা গ্যাস ট্রান্সমিশন এবং বৃহৎ প্রবাহ হারের বিতরণ পাইপলাইনের সংযোগ।
নীতিগতভাবে, তাদের সব ঢালাই করা হয়, এবং ঢালাই প্রয়োগ করার সময় ব্যবহৃত টিউবগুলির সংগঠনে কোন পরিবর্তন করা প্রয়োজন হয় না।অত্যধিক কার্বন সামগ্রী সহ উপাদানগুলি ঢালাই করার সময় ঢালাই করা অংশগুলির বায়ু ব্যাপ্তিযোগ্যতার সাপেক্ষে, যা পাইপের ভিতরে এবং বাইরে গ্যাসগুলির পারস্পরিক অনুপ্রবেশ ঘটায় এবং প্রেরিত গ্যাসের বিশুদ্ধতা, শুষ্কতা এবং পরিচ্ছন্নতা নষ্ট করে, যার ফলে ক্ষতি হয়। আমাদের সমস্ত প্রচেষ্টা।
সংক্ষেপে, উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস এবং বিশেষ গ্যাস ট্রান্সমিশন পাইপলাইনের জন্য, উচ্চ-বিশুদ্ধতা পাইপলাইন সিস্টেম (পাইপ, ফিটিংস, ভালভ, ভিএমবি, ভিএমপি সহ) তৈরি করতে উচ্চ-বিশুদ্ধতা স্টেইনলেস স্টীল পাইপের একটি বিশেষ চিকিত্সা ব্যবহার করা প্রয়োজন। উচ্চ-বিশুদ্ধতা গ্যাস বিতরণ একটি গুরুত্বপূর্ণ মিশন দখল করে।
ট্রান্সমিশন এবং ডিস্ট্রিবিউশন পাইপলাইনের জন্য পরিষ্কার প্রযুক্তির সাধারণ ধারণা
পাইপিং সহ অত্যন্ত বিশুদ্ধ এবং পরিচ্ছন্ন গ্যাস বডি ট্রান্সমিশন মানে গ্যাস পরিবহনের তিনটি দিকের জন্য নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তা বা নিয়ন্ত্রণ রয়েছে।
গ্যাস বিশুদ্ধতা: gGas বিশুদ্ধতার মধ্যে অপরিষ্কার বায়ুমণ্ডলের বিষয়বস্তু: গ্যাসের অশুদ্ধতা বায়ুমণ্ডলের বিষয়বস্তু, সাধারণত গ্যাসের বিশুদ্ধতার শতাংশ হিসাবে প্রকাশ করা হয়, যেমন 99.9999%, এছাড়াও অপরিষ্কার বায়ুমণ্ডলের সামগ্রীর আয়তনের অনুপাত হিসাবে প্রকাশ করা হয় ppm, ppb, ppt
শুষ্কতা: গ্যাসে আর্দ্রতার ট্রেস পরিমাণ বা আর্দ্রতা নামক পরিমাণ, সাধারণত শিশির বিন্দুর পরিপ্রেক্ষিতে প্রকাশ করা হয়, যেমন বায়ুমণ্ডলীয় চাপ শিশির বিন্দু -70।গ.
পরিচ্ছন্নতা: গ্যাসে থাকা দূষিত কণার সংখ্যা, কণার আকার µm, কত কণা/M3 প্রকাশ করতে হবে, সংকুচিত বাতাসের জন্য, সাধারণত কতগুলি mg/m3 অনিবার্য কঠিন অবশিষ্টাংশের পরিপ্রেক্ষিতে প্রকাশ করা হয়, যা তেলের উপাদানকে কভার করে। .
দূষণকারী আকারের শ্রেণীবিভাগ: দূষণকারী কণা, প্রধানত পাইপলাইন স্কোরিং, পরিধান, ধাতব কণা দ্বারা উত্পন্ন ক্ষয়, বায়ুমণ্ডলীয় কাঁচের কণা, সেইসাথে অণুজীব, ফেজ এবং আর্দ্রতাযুক্ত গ্যাস ঘনীভবন ফোঁটা ইত্যাদিকে বোঝায়, এর কণার আকারের আকার অনুযায়ী বিভক্ত করা হয়
ক) বড় কণা - 5μm এর উপরে কণার আকার
খ) কণা – উপাদান ব্যাস 0.1μm-5μm মধ্যে
গ) অতি-মাইক্রো কণা - কণার আকার 0.1μm এর কম।
এই প্রযুক্তির প্রয়োগ বাড়ানোর জন্য, কণার আকার এবং μm ইউনিটের উপলব্ধিগত বোঝার জন্য, নির্দিষ্ট কণার অবস্থার একটি সেট রেফারেন্সের জন্য প্রদান করা হয়
নিম্নলিখিত নির্দিষ্ট কণা একটি তুলনা
নাম/কণার আকার (µm) | নাম/কণার আকার (µm) | নাম/ কণার আকার (µm) |
ভাইরাস 0.003-0.0 | অ্যারোসল 0.03-1 | অ্যারোসোলাইজড মাইক্রোড্রপলেট 1-12 |
পারমাণবিক জ্বালানী 0.01-0.1 | পেইন্ট 0.1-6 | ফ্লাই অ্যাশ 1-200 |
কার্বন কালো 0.01-0.3 | দুধের গুঁড়া 0.1-10 | কীটনাশক 5-10 |
রজন 0.01-1 | ব্যাকটেরিয়া 0.3-30 | সিমেন্টের ধুলো 5-100 |
সিগারেটের ধোঁয়া 0.01-1 | বালি ধুলো 0.5-5 | পরাগ 10-15 |
সিলিকন 0.02-0.1 | কীটনাশক 0.5-10 | মানুষের চুল 50-120 |
স্ফটিক লবণ 0.03-0.5 | ঘনীভূত সালফার ধুলো 1-11 | সমুদ্রের বালি 100-1200 |
পোস্টের সময়: জুন-14-2022